华芯半导体科技有限公司成立于2015年12月11日,注册地位于江苏省泰州市姜堰区罗塘街道现代科技产业园(群东路88号),法定代表人彭灵勇,注册资本17530.0408万(元),企业类型为有限责任公司(自然人投资或控股),统一社会信用代码:91321204MA1MCNH3X9。现有员工200人,配备3名专职安全管理人员。营业执照许可经营范围包括半导体芯片、LED芯片研发、生产、销售及相关技术咨询、技术服务;自营和代理各类商品及技术的进出口业务(国家限定公司经营和禁止进出口的商品及技术除外)。
本次现状评价为第二次现状评价,第一次评价为2022年6月,本次评价相对于上次评价以来:厂址、平面布置、生产工艺、设备设施、原辅材料、产品、产能均无变化。
自上次(2022年6月)安全评价以来,变化情况:企业原有项目中包含一座甲类危险化学品仓库用于储存危险化学品和危险废物,建筑面积256.6m2,耐火等级二级,砖混结构,火灾危险性为甲类。该座危险化学品仓库原分为7个隔间,此次变更将原来的液氨瓶区隔间用耐火极限不低于4.0h的防火墙分隔为建筑面积相同的3个隔间,用于储存危险废物;变更后该危险化学品仓库共分为9个隔间。
本次变更不改变企业现有项目的产品及产能,不改变生产工艺路线,不改变企业生产原料。本次变更不改变危险化学品仓库主体建筑结构,不新增加建(构)筑,不提升仓库的火灾危险性等级,只涉及到建筑内分区的用途和分隔调整,变更后该危险化学品仓库共分为9个隔间。
本次为第二次安全现状评价,受华芯半导体科技有限公司的委托,江苏赛福特安全评价认证有限公司承担本次安全现状评价工作。
接到委托后,江苏赛福特安全评价认证有限公司立即组织成立了工作小组,对华芯半导体科技有限公司公司进行危险有害因素的识别与分析,
华芯半导体科技有限公司建设项目生产过程中使用的原辅材料主要为:四溴化碳、三乙基镓、二乙基碲、GaAs基片、三甲基镓、三甲基铝、三甲基铟(TMIn)、二茂镁(CP2Mg)、硅烷混气SiH4/He(4~10%,气瓶内充氦气保护)、氮[压缩的或液化的]、氢气、砷化氢、磷化氢、一氧化二氮[压缩的]、氯气(非液氯)、甲烷、三氯化硼、三氟甲烷、氦[压缩的]、六氟化硫、研磨用蜡(脂肪酸及一元醇,不含氮磷)、研磨粉(含SiC的切削液,不含氮磷)、抛光液(含钻石微粒,粒径3~6μm,不含氮磷)、去蜡液(脂肪族碳氢化合物,不含氮)、四氟化碳(四氟甲烷)、氩[压缩的]、氧[压缩的]、硫酸(98%)、磷酸(85%)、硝酸(65-68%)、盐酸(37%)、过氧化氢溶液(30%)、乙醇(无水)、丙酮、异丙醇、液氨、光刻胶(γ-丁内脂)、正胶(单甲基醚丙二醇乙酸酯68%、重氮衍生物2%、多甲酚聚合物29%)、负胶(酯类60%、重氮衍生物6%、酚类聚合物34%)、增粘剂(六甲基二硅烷胺)、显影液(3%四甲基氢氧化铵)、去胶液(NMP,N-甲基吡咯烷酮)、氧化蚀刻缓冲液(氟酸与水或氟化铵与水混合而成)、钛、铂、金、镍、BCB胶(97%苯并环丁烯)、天然气。企业环保设施使用的原辅料有活性炭纤维、次氯酸钠溶液(10%)、氢氧化钠、氢氧化钙、硫酸亚铁、硫酸(98%)、聚合氯化铝(PAC)、聚丙烯酰胺(PAM)。
根据《危险化学品目录》(2022调整版)辨识:企业使用的危险化学品有三甲基铝(序号:1808,CAS号:75-24-1)、三甲基镓(序号:2828)、三甲基铟(序号:2828)、二茂镁(序号:2828)、氮[压缩的或液化的](序号:172,CAS号:7727-37-9)、氢气(序号:1648,CAS号:1333-74-0)、砷化氢(序号:1927,CAS号:7784-42-1)、磷化氢(序号:1266,CAS号:7803-51-2)、硅烷(序号:1030,CAS号:7803-62-5)、一氧化二氮[压缩的或液化的](序号:2561,CAS号:10024-97-2)、氯(序号:1381,CAS号:7782-50-5)、甲烷(序号:1188,CAS号74-82-8)、液氨(序号2,CAS:7664-41-7)、三氯化硼(序号:1844,CAS号:10294-34-5)、三氟甲烷R23(序号:1784,CAS号:75-46-7)、氦[压缩的](序号:929,CAS号:7440-59-7)、六氟化硫(序号:1341,CAS号:2551-62-4)、四氟化碳(四氟甲烷)(序号:2026,CAS号:75-73-0)、氩[压缩的](序号:2505,CAS号:7440-37-1)、氧[压缩的](序号:2528,CAS号:7782-44-7)、硫酸(序号:1302,CAS号:7664-93-9)、磷酸(序号:2790,CAS号:7664-38-2)、过氧化氢(序号:903,CAS号:7722-84-1)、乙醇(序号:2568,CAS号:64-17-5)、丙酮(序号:137,CAS号:67-64-1)、异丙醇(序号:111,CAS号:67-63-0)、天然气(序号:2123,CAS号:8006-14-2)、氢氟酸(序号:1650,CAS号:7664-39-3,氟化氢是刻蚀缓冲液成分)、氟化铵(序号:744,CAS号:12125-01-8)、硝酸(序号:2285,CAS号:7697-37-2)、盐酸(序号:2507,CAS号:7647-01-0)、氢氧化钠(序号:1669,CAS号:1310-73-2)、次氯酸钠溶液(序号:166,CAS号:7681-52-9)、增粘剂(六甲基二硅烷胺)(序号:1348,CAS号:999-97-3)。四溴化碳(序号:2084,CAS号:558-13-4)、三乙基镓(CAS号:1115-99-7)、二乙基碲(CAS号:627-54-3)
;属于剧毒化学品有:氯、砷化氢、磷化氢。
根据《建筑设计防火规范》(GB50016-2014)(2018年版)辨识,企业使用的原辅料中三甲基铝、三甲基铟、三甲基镓、二茂镁(CP2Mg)、氢气、砷化氢、磷化氢、乙醇(无水)、丙酮、异丙醇、天然气、硅烷混气、甲烷、增粘剂(六甲基二硅烷胺)、三乙基镓、二乙基碲属于甲类火灾危险性介质;氯气、液氨、氧气、硝酸(65-68%)、过氧化氢、三氯化硼、一氧化二氮、正胶属于乙类火灾危险性介质;活性炭纤维、研磨用蜡、研磨粉、抛光液、去蜡液、负胶、显影液(3%四甲基氢氧化铵)、去胶液(NMP,N-甲基吡咯烷酮)、BCB胶(97%苯并环丁烯)、光刻胶(γ-丁内脂);属于丙类火灾危险性介质;GaAs基片、四溴化碳、三氟甲烷、氦气、氮气、四氟化碳(四氟甲烷)、氩气、硫酸(98%)、磷酸、盐酸(37%)、六氟化硫、钛、铂、金、镍、氧化蚀刻缓冲液(氢氟酸与水或氟化铵与水混合而成)、次氯酸钠溶液(10%)、氢氧化钠、氢氧化钙、硫酸亚铁、聚合氯化铝(PAC)、聚丙烯酰胺(PAM)属于戊类火灾危险性介质。
根据《易制毒化学品管理条例》(国务院令〔2005〕第445号发布,653号令、666号令、703号令修改)、《国务院办公厅关于同意将N-苯乙基-4-哌啶酮、4-苯胺基-N-苯乙基哌啶、N-甲基-1-苯基-1-氯-2-丙胺、溴素、1-苯基-1-丙酮列入易制毒化学品品种目录的函》(国办函〔2017〕120号)、《国务院办公厅关于同意将α-苯乙酰乙酸甲酯等6种物质列入易制毒化学品品种目录的函》(国办函〔2021〕58号)辨识,企业硫酸(98%)、盐酸(37%)、光刻胶(γ-丁内脂)属于第三类易制毒化学品。
根据《易制爆危险化学品名录》(2017版)辨识,企业硝酸、过氧化氢溶液(30%)属于易制爆危险化学品。
根据《高毒物品目录》(2003版)辨识,企业氯气、液氨、磷化氢、砷化氢、氢氟酸、镍属于高毒物品。
根据国家安监总局《关于公布首批重点监管的危险已废止化学品名录的通知》(安监总管三〔2011〕95号)及《关于公布第二批重点监管的危险化学品名录的通知》(安监总管三〔2013〕12号),企业氯(首批1号)、氨(首批2号)、甲烷、天然气(首批5号)、氢(首批8号)、氢氟酸(首批17号)、磷化氢(首批46号)属于重点监管的危险化学品。
根据《特别管控危险化学品目录(第一版)》(应急管理部、工业和信息化部、公安部、交通运输部公告2020年第3号),企业氯、液氨、乙醇属于特别管控危险化学品。
根据《各类监控化学品名录》(工信部〔2020〕52号令)辨识,企业不涉及监控化学品。
根据《应急管理部办公厅关于印发工贸企业有限空间重点监管目录的通知》(应急厅〔2023〕37号)辨识,本项目有限空间有水喷淋塔、冷却水池等,但不属于重点监管有限空间。企业环保设施中的废气喷淋塔、废水处理池、废氨水桶、废水收集罐属于有限空间;其中废水处理池、废水收集罐属于重点监管有限空间。
根据国家安全监管总局《关于公布首批重点监管的危险化工工艺目录的通知》(安监总管三〔2009〕116号)、《关于公布第二批重点监管危险化工工艺目录和调整首批重点监管危险化工工艺中部分典型工艺的通知》(安监总管三〔2013〕3号)、江苏省安监局《关于规范化工企业自动控制技术改造工作的意见》(苏安监〔2009〕109号)辨识,企业不涉及重点监管危险化工工艺;企业供氢站、危险品仓库属于高危储存设施。企业特气房作为C1、C2车间生产辅助设施,位于C1、C2车间附属辅助用房内,本报告将特气房参照高危储存设施的要求进行分析评价。
根据《工贸行业重点可燃性粉尘目录》(2015版)、《爆炸危险环境电力装置设计规范》(GB 50058-2014)辨识,企业不涉及重点可燃性粉尘。
根据《工贸企业重大事故隐患判定标准(2023版)》(应急管理部令[2023]第10号),本项目在本次检查时无重大生产安全事故隐患。
根据《江苏省冶金等工业企业较大以上安全生产风险目录(修订版)》辨识,本项目存在的较大安全风险有:有限空间作业(100301)、燃气储存设施、使用设施燃气泄漏(100305)、可燃物料燃烧(非危险化学品)(100309)、储存场所危险化学品泄漏(100311)、空压机储气罐超压(100314)、装卸作业(100315)、⼯业⽓体储存设施及其输送管线⽓体泄漏(100317)、有机废气处理装置燃烧(100319)、洁净厂房(100327)、高处作业(100329)、(特⽓供应)特种⽓体泄漏(100720)等。
本项目在生产过程中主要存在火灾爆炸、容器爆炸、中毒和窒息、触电、灼烫、机械伤害、物体打击、高处坠落、车辆伤害、淹溺、灼烫等危险因素。
为确保评价工作的顺利进行,评价工作组对该公司提供的相关资料进行了仔细的分析、研究,并对其生产装置、公用辅助系统等进行了现场安全检查,综合运用了多种安全评价方法,进行了定性分析和定量评价,编制了《华芯半导体科技有限公司安全现状评价报告》。
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